近期光刻技術(shù)和蝕刻機(jī)一直全是當(dāng)今較熱的話題討論，可以說光刻技術(shù)是芯片制造的魂，蝕刻機(jī)是芯片制造的魄，要想生產(chǎn)制造的處理芯片，這兩個(gè)物品都務(wù)必。
這倆設(shè)備簡易的表述便是光刻技術(shù)把原理圖投射到遮蓋有光刻技術(shù)的單晶硅片上邊，蝕刻機(jī)再把剛剛畫了原理圖的單晶硅片上的不必要原理圖浸蝕掉，那樣看上去好像沒有什么難的，可是有一個(gè)品牌形象的形容，每一塊處理芯片上邊的電源電路構(gòu)造變大成千上萬倍看來比全部北京市都繁雜，這就是這光刻技術(shù)和蝕刻的難度系數(shù)。
光刻技術(shù)的全過程就是目前制做好的硅圓表層涂上一層光刻技術(shù)（一種能夠被光浸蝕的膠狀物化學(xué)物質(zhì)），接下去根據(jù)光源（加工工藝難度系數(shù)紫外線＜深紫外線＜極紫外線）通過掩膜照射硅圓表層（相近投射），由于光刻技術(shù)的遮蓋，照射的一部分被浸蝕掉，沒有陽光照射的一部分被留下，這些就是必須的電源電路構(gòu)造。
蝕刻分成二種，一種是干刻，一種是濕刻（現(xiàn)階段流行），說白了，濕刻便是全過程中有冰添加，將上邊歷經(jīng)光刻技術(shù)的圓晶與特殊的化學(xué)溶液反映，除掉不用的一部分，剩余的就是電源電路構(gòu)造了，干刻現(xiàn)階段都還沒完成商業(yè)服務(wù)批量生產(chǎn)，蝕刻機(jī)基本原理是根據(jù)等離子技術(shù)替代化學(xué)溶液，除去不用的硅圓一部分。